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產品描述
參數
設備特點：
1. 采用手套箱，滿足用戶水氧含量均小于1ppm的要求
2. 真空在線可多次掩膜，并可滿足用戶對襯底與掩膜板之間無間隙要求
3. 蒸發電極為全封閉，高溫鎢極，該蒸發源為本公司獨創
4. 有機束源爐也是本公司專利，700℃內可精確控溫，并為全封閉結構，有效避免了交叉污染
5. 蒸發室及磁控濺射室都配有可加熱能升降可旋轉的高真空樣品安放臺，升降行程40-100mm（可由用戶確定），加熱溫度室溫到300℃，連續可調，誤差±1℃。所有功能均由電動實現，觸摸屏操作
主要技術參數：
1. 兩個鍍膜室的極限真空度可達3*10-5pa，傳遞室和樣品庫5*10-4pa，系統漏率1*10-8pa/s
2. 可鍍樣品最大尺寸100mm*100mm，樣品加熱溫度最高300℃。成膜均勻度≤±5%
3. 樣品臺可旋轉，轉速為每分鐘2-30轉連續可調
4. 金屬蒸發電極最高溫度2000℃，有機蒸發源最高溫度700℃
5. 可一次裝卡4個基片，可進行多次掩膜，可真空在線制作四個器件。保證掩膜板與襯底間無間隙的最佳要求
6. 磁控靶最大功率500W，擺頭角度40°
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